قام العالمان بنيغ وروهرر باختراع مجهر المسح النفقي (Scanning Tunneling Microscope) والذي حاز جائزة نوبل للفيزياء سنة 1986 ويُعد هذا المجهر الأداة التي فتحت المجال لتكنولوجيا النانو ومجموعة واسعة من الاكتشافات في ميادين متنوعة مثل الكيمياء الكهربائية والإلكترونيات الدقيقة والبيولوجية الدقيقة حيث استُخدِمت في دراسة جزيئة الADN.

مجهر المسح النفقي هو نوع من المجاهر الإلكترونية التي تُظهِر صورا ثلاثية الأبعاد للعينة باستخدام القلم الذي يقوم بمسح سطحها على مسافة ثابتة ويُرسل إشارة كهربائية مما يُمكِّن من متابعة أدق التفاصيل ومعرفة بنية الذرات التي تظهر على جهاز الحاسوب.